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中芯国际:90纳米工艺系自主开发 不面向军用

2018-08-18作者:采集侠来源:网络整理次阅读

日前在美国加州圣荷塞举行的“2004年中国台湾+中国大陆半导体产业了望”研讨会上,中芯国际(SMIC)董事长张汝京在做主题演讲时表示,该公司的90纳米工艺乃自主开发,且该技术仅面向商业应用,不会用于西方国家所担心的军事用途。  

  2004年10月,中芯国际曾宣布计划在2005年底前开始为德州仪器(TI)及其他客户代工90纳米芯片。当时,业界广泛认为中芯国际与德州仪器正联手开发90纳米工艺。 该90纳米工艺由中芯国际内部自主开发,是中芯自己的。张汝京表示:“中国政府并没有要求我们参与任何军事项目。”

  张汝京透露,该公司能够自主开发90纳米工艺,乃是得益于193纳米扫描器(scanner)。该工具是由中芯国际主要的光刻供应商——荷兰ASML控股公司提供的。在该工具助力下,中芯国际在2003年就有能力采用90纳米工艺制造原型SRAM。这款“测试芯片”已于2004年通过合格验证。

  迄今为止,中国涉及亚250纳米芯片制造的任何动向都被西方视为侵蚀瓦圣纳协议(Wassenarr Arrangement)的标志,该协议的初衷就是限制拥有潜在军事用途的技术的转移。

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